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_b.H3335 2008
245 1 0 _aHandbook of semiconductor manufacturing technology /
_cedited by Yoshio Nishi, Robert Doering ; assistant editor, Tim Wooldrige.
250 _a2a ed.
260 _aNew York
_bCRC Press
_cc2008.
300 _a1 v. (various pagings)
_bill.
504 _aIncluye refrencia bibliografica e indice
650 1 4 _aSemiconductores
_xDiseño y construcción
_xManuales.
700 1 _aDoering, Robert,
_d1946-
700 1 _aNishi, Yoshio,
_d1940-
999 _c25580
_d25580