TY  - BOOK
AU  - Doering,Robert
AU  - Nishi,Yoshio
TI  - Handbook of semiconductor manufacturing technology
SN  - 1574446754
AV  - TK7871.85 .H3335 2008
PY  - 2008///
CY  - New York 
PB  - CRC Press 
KW  - Semiconductores
KW  - Diseño y construcción
KW  - Manuales
N1  - Incluye refrencia bibliografica e indice
ER  -