TY  - BOOK
AU  - Liu,Chang
TI  - Foundations of MEMS
SN  - 0131472860
AV  - TK7875 .L58 2006
PY  - 2006///
CY  - Upper Saddle River, NJ 
PB  - Pearson/Prentice Hall 
KW  - Sistemas microelectromecánicos
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice
ER  -