Liu, Chang, <br/><br/>
Foundations of MEMS / 
Chang Liu. 
 - Upper Saddle River, NJ   Pearson/Prentice Hall   c2006. 
 - xxii, 530 p.   il. 
<br/><br/>Incluye referencias bibliográficas e índice. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0131472860 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Sistemas microelectromecánicos.
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7875  / .L58 2006